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现行法规规定了从N1到N9的清洁级别。洁净车间工程主要包括室内装修、净化空调系统、纯气、水系统、电气系统等建设工程。洁净车间有其特殊性,其生产车间的特点十分鲜明。随着半...
现行法规规定了从N1到N9的清洁级别。洁净车间工程主要包括室内装修、净化空调系统、纯气、水系统、电气系统等建设工程。洁净车间有其特殊性,其生产车间的特点十分鲜明。随着半导体技术的发展,集成电路生产中对洁净车间的洁净度要求越来越高
1. 地面处理,如果地基基础不好,完成后涂壳(环氧树脂),如果PVC,会起泡;
2. 当建筑物楼层高度不够时,隐蔽工程难度较大,如风管、纯水管道、电力电缆的安装等。
因此,如果是租一间车间来建造洁净车间,建议从地面到横梁的高度应为4m;(洁净车间的标准高度为2.8m),应预留至少1m的技术夹层空间。如果要求洁净室的高度,则洁净室从地板到横梁的高度要高一些。
3.高空作业:由于集成电路及TFT-LCD工厂楼层高度普遍较高,施工难度很大,这也对施工过程的安全保障提出了更高的要求。由于这类厂房的洁净区通常在整个厂房的二层,所以在施工过程中,我们采用分层作业的施工方法。首先,我们构造的地板层清洁区域,然后以地板层为接口,分成较高层和较低层建筑,并完全躺低三明治层上的安全保障,确保施工人员的人身安全在干净的房间里。
4. 大面积精度控制:随着工业的发展,洁净面积越来越大,对地面精度控制的要求也越来越高。我们的做法是配置专业的测量师,建立一个交叉基准线作为基准源,建立一个覆盖全厂的基准线体系。在施工过程中,通过激光扫地机调节安装高度,并利用经纬仪进行连续重测,从而在大面积洁净车间内将精度控制在要求的范围内。
5. 全过程洁净施工控制:与其他车间相比,洁净车间的特点是洁净管理和控制。清洁管理与控制是指从施工开始到施工结束的全过程控制。只有通过全过程控制,建成的车间才能满足要求。一般来说,洁净车间的施工都是按照洁净室的装修作为控制主线来考虑的。洁净室的建设要在全厂关闭后才能开始。如未封闭,应采用临时封闭方法,确保封闭施工。